Ingenieursleistung zur Optimierung

Ingenieursleistung zur Optimierung des KATHODENZERSTÄUBUNGSVERFAHRENS

Wir besitzen ein umfangreiches Know-How in Optimierung von Magnetfeldern für Magnetrons. Viele Probleme im Beschichtungsprozess entstehen durch Abweichungen von Magnetfeldlinien. Mit Hilfe unserer Messgeräte können die magnetischen Feldlinien gemesseb, simuliert und optimiert werden, so dass die Produktivität des Coaters erheblich gesteigert werden kann.

Wir bieten folgende Leistungen an:

• Diagnose der magnetischen Feldlinien durch unsere 3D Magnetic Mapping Machine
• Optimierung durch Einfügen von Shunts in die Trägerplatte
• Darstellen vom spezifischen magnetischen Feld mit dem Ziel, die Aufprallrate zu erhöhen, Verschleiss vom Target verringern…

In Kombination mit unserem statischen Magnetfeldmessgerät haben wir ein Programm entwickelt, welches die Feldlinien analysiert und auswertet, sodass die Beschichtungsuniformität vorausgesehen werden kann. Die Daten werden im 2D und in 3D mit einer Kurve präsentiert, die die Regionen aufweist, wo das magnetische Feld optimiert werden muss.

Dieses Merkmal erlaubt eine schnellere und einfache Optimierung von rotativen magnetischen Leisten sowie geringere Produktionsverluste beim Optimierungsvorgang.